注意：水環真空泵嚴禁無液體空轉，以免損壞零件；嚴禁泵體內滿水啟動；水環真空泵啟動后，在出口閥未開的情況下，嚴禁長時間運行。

接著檢查廢氣旁通閥和電子氣動壓力轉換}oDME通過對電子氣動壓力轉換閥對廢氣旁通閥進行控制，以調節增壓壓力。廢氣旁通閥由一個膜片箱氣動調整。電子氣動壓力轉換閥向膜片箱施加真空．推動廢氣旁通操控桿對廢氣旁通閥進行控制(圖2)。通過調節加速踏板，并觀察廢氣旁通操控桿，廢氣旁通操控桿可以動作，初步判斷廢氣旁通閥無卡滯現象。而電子氣動壓力轉換閥也可以動作，進一步拆下電子氣動壓力轉換閥．檢查真空管．無破損和泄漏現象，又測量電子氣動壓力轉換閥的電阻，為11Ω(圖3)，正常（20℃時為ΩΩ）且電子氣動壓力轉換閥表面無污物(圖4)。初步判斷電子氣動壓力轉換閥正常。

檢查真空泵充油，凍干機必要換掉臟油，檢查壓力。檢查干燥空磨口是否在整個密封面上均勻涂布了真空油。凍干機采用帶8個真空橡膠密封閥的干燥室時應摘下真空橡膠密封閥，用橡膠塞堵上接口，抽真空進行檢查并依次換裝真空橡膠密封閥進行檢查。

真空破壞閥廣泛應用于各種容易產生真空的系統，如消防、泳池、綠地噴灌、給排水、船塢、電廠、冶金、造船等領域，在系統形成負壓的時候及時吸入空氣保護系統，在管道或容器因系統運行或停止而產生負壓或真空逐步升高時，真空破壞閥能自動開啟，破壞真空效應，使管道及其它設備不至產生癟、凹裂等現象，以保護設備的。

公司主要從事壓力管道組件，低功率氣動控制閥，流體設備，真空電子潔凈設備及其相關零部件。公司半導體領域的產品主要是腔體，管件，閥，泵等零部件，應用于真空，氣體領域。公司重點研發真空半導體零部件的加工，表面處理等工藝，并持續提供高端高潔凈泵，超潔凈管道管件，超潔凈高密封性真空腔體。

從圖1所示結構可以看出，所進行的真空度控制應該還是手動調節方式，即固定機械泵抽速（一般是全開狀態），然后通過調節泄漏閥的開度來達到不同的真空度，但這種手動控制方式很難保證真空度控制的準確性和穩定性，完全不能按照設計好的不同設定值對真空度進行控制。